Le processeur à plasma sous vide à quartz VPS - qz05 est un petit nettoyeur à plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique et le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif sans électrode interne.
Introduction au produit
Processeur plasma à quartz VPS - qz05Est un petit nettoyeur à plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique, le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif, sans électrode interne. C'est - à - dire que l'énergie de décharge est appliquée de l'extérieur du processeur, ce qui permet d'éviter les problèmes de corrosion des électrodes et de dépôt des réactifs sur les plaques.
Processeur plasma à quartz VPS - qz05Application:Liaison PDMS, introduction de groupes fonctionnels spécifiques, grisage plasma, modification hydrophile de surface, amélioration de l'adhérence
Processeur plasma à quartz VPS - qz05caractéristiquePour:Aucun contaminant n'est introduit dans le processus de traitement, opération simple, approprié pour l'utilisation d'instituts de recherche, d'universités, de centres de recherche et de développement

Paramètres du produit
modèle |
VPS-QZ05 |
fréquence |
13. 56 MHz |
puissance |
0 - 200w réglable en continu |
Matériau de la cavité |
Quartz de haute qualité |
Volume de la cavité |
5L |
Taille de la cavité |
Φ150 × 290 (D) mm |
Régulateur de débit de gaz |
Contrôleur de Débit massique MFC |
Nombre de voies de gaz |
Gaz 2 voies, couramment utilisé O2, ar2, N2, H2, etc. (le gaz corrosif doit être personnalisé) |
Système de détermination du vide |
Tubes en silicone sous vide pirani |
Degré de vide limite |
1Pa |
mode de contrôle |
PLC + écran tactile de 4,3 pouces |
pompe à vide |
Pompe à huile / pompe sèche (en option) |
Alimentation électrique |
AC220V / 50Hz |
Dimensions extérieures |
550mm (L) × 450mm (L) × 500 mm (H) |