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Shenzhen shenguangda Technology Co., Ltd
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Fabricant de haute pureté quartz Plasma Cleaner

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Vue d'ensemble

Le processeur à plasma sous vide à quartz VPS - qz05 est un petit nettoyeur à plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique et le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif sans électrode interne.

Détails du produit

Introduction au produit

Processeur plasma à quartz VPS - qz05Est un petit nettoyeur à plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique, le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif, sans électrode interne. C'est - à - dire que l'énergie de décharge est appliquée de l'extérieur du processeur, ce qui permet d'éviter les problèmes de corrosion des électrodes et de dépôt des réactifs sur les plaques.


Processeur plasma à quartz VPS - qz05Application:Liaison PDMS, introduction de groupes fonctionnels spécifiques, grisage plasma, modification hydrophile de surface, amélioration de l'adhérence

Processeur plasma à quartz VPS - qz05caractéristiquePour:Aucun contaminant n'est introduit dans le processus de traitement, opération simple, approprié pour l'utilisation d'instituts de recherche, d'universités, de centres de recherche et de développement


VPS-QZ05石英真空等离子处理仪


Paramètres du produit

modèle

VPS-QZ05

fréquence

13. 56 MHz

puissance

0 - 200w réglable en continu

Matériau de la cavité

Quartz de haute qualité

Volume de la cavité

5L

Taille de la cavité

Φ150 × 290 (D) mm

Régulateur de débit de gaz

Contrôleur de Débit massique MFC

Nombre de voies de gaz

Gaz 2 voies, couramment utilisé O2, ar2, N2, H2, etc. (le gaz corrosif doit être personnalisé)

Système de détermination du vide

Tubes en silicone sous vide pirani

Degré de vide limite

1Pa

mode de contrôle

PLC + écran tactile de 4,3 pouces

pompe à vide

Pompe à huile / pompe sèche (en option)

Alimentation électrique

AC220V / 50Hz

Dimensions extérieures

550mm (L) × 450mm (L) × 500 mm (H)