L'équipement de nettoyage plasma sous vide VPS - rf120 est un petit nettoyeur plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique et le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif sans électrode interne.
VPS - rf120 Équipement de nettoyage plasma sous videIntroduction:
L'équipement de nettoyage au plasma sous vide VPS - rf120 se compose principalement de cavité à vide, d'alimentation au plasma haute fréquence, de système de production et de mesure de vide, de système de gaz de processus, de système de contrôle et d'autres parties. Le principe de base de fonctionnement est d'utiliser une pompe à vide pour effectuer l'aspiration de la Chambre de travail à un certain degré de vide, après l'entrée du gaz de processus, sous l'action d'un générateur à haute fréquence, un champ électrique alternatif à haute fréquence est formé entre l'anode et la cathode, le gaz est ionisé pour former un plasma. Lorsque le gaz atteint l'état plasma, les molécules gazeuses se fissurent en de nombreuses particules hautement actives. Le mécanisme du nettoyage au plasma consiste précisément à s'appuyer sur « l'action d'activation» d'une substance à « l'état plasma» dans le but d'éliminer les taches de surface d'un objet ou d'améliorer l'activité de surface.

VPS - rf120 Équipement de nettoyage plasma sous videCaractéristiques:Technologie de décharge euro - américaine, structure de décharge professionnelle, distribution uniforme de plasma de simulation scientifique, effet de traitement uniforme
Application du produit: élimination de la matière organique de surface, nettoyage de surface à l'huile, amélioration de l'hydrophilie de surface, amélioration de l'adhérence de surface, amélioration de l'adhérence de surface, amélioration des propriétés de liaison
Paramètres du produit:
modèle |
VPS-RF120 |
Fréquence plasma |
13.56mhz adaptation automatique d'impédance |
工作真空度 |
10 à 100Pa |
pompe à vide |
Pompe à huile / pompe sèche (facultatif) |
puissance |
0 - 1000w réglable |
Matériau de la cavité |
Acier inoxydable 316L de catégorie importée / alliage d'aluminium d'aviation (facultatif) |
Taille de la cavité |
500 (W) * 500 (D) * 490 (H) mm |
Volume de la cavité |
120 litres |
Zone de traitement efficace à une seule couche |
450mm (W) * 430mm (D) |
Nombre de voies de gaz |
Gaz 2 voies, oxygène de soutien, argon, azote, hydrogène, etc. (gaz corrosif à personnaliser) |
Nombre de couches traitées |
8 couches (peut être personnalisé) |
mode de contrôle |
PLC + écran tactile |
alimentation |
AC380V, 50/60Hz |
Dimensions extérieures |
950mm (L) × 1100mm (L) × 1800 mm (H) |