Contrôleur de Débit massique de gaz d'alimentation S - 300 production

Introduction

haute performanceMFCConçu sur mesure pour l'industrie des semi - conducteurs

S300Série Digital Mass Flow Controller/Débitmètre: l'utilisation d'un excellent capteur de débit de qualité industrielle développé par la société, combiné à une structure de circuit d'air poli fin ainsi qu'à un circuit de contrôle numérique et à un algorithme de haute précision, permet un contrôle de haute précision, à faible dérive nulle et à haute répétabilité. Le produit est équipé d'un écran d'affichage sur site et d'un commutateur de codage d'adresse, de nombreux moyens de communication en option, d'une étanchéité entièrement métallique personnalisable, adaptée aux semi - conducteurs, au revêtement sous vide, au photovoltaïque et à d'autres environnements d'application.

Principaux avantages

S1Modules fonctionnels physiques enrichis

La configuration supérieure est riche en modules fonctionnels:

* RJ45Interface de communication numérique(Personnalisable

EtherCATouRS485protocole) et

* Commutateur de codage d'adresse

* Affichage sur site

* Indicateur d'état

En outre, les côtés sont configurés avecM8Interface d'alimentation de l'aviation, l'affichage est intuitif, facile à utiliser, pratique pour les utilisateurs de surveillance et de contrôle du débit sur site.

S2Réponse rapide

1,5 millimètresTemps de réponse du capteur,0,1 ~ 0,5 secondesTemps de réponse du système d'instrumentation pour capturer les petits changements de débit dans le temps.

S3Haute précision

2,0% -PourcentageF.S.Le segment de pleine échelle maintient une haute précision:

0,3 % de F.S. (≤30 % F.S.);1,0 % de P.S.>30 % F.S.)

S4Equipé d'une machine de positionnement dédiée

Équipé d'une puissanteProcessus intelligentsLogiciel de machine supérieure, support de plusieurs liaisons, pratique pour la surveillance et la configuration de l'équipement.

S5Produits certifiés

ParTÜVInstitutions internationalesCE et EMCCertifié, ouJLYCertificat d'étalonnage de première classe, etc., conforme à plusieursSEMIStandard.

Spécifications du produit

* Sauf indication contraire, ce produit est étalonné aux conditions suivantes: azote, température25℃、2,5 barPression différentielle(Entrée d'air3,5 barSortie d'air à pression absolue1 bar

Pression absolue) etInstallation horizontale.

* Il est recommandé d'installer un tronçon de tube droit de bonne taille à l'extrémité d'entrée, sinon cela pourrait entraîner des écarts de précision.

* Il est recommandé de faire correspondre le plus grand joint possible aux extrémités d'entrée et de sortie pour éviter d'entraîner des pertes de pression supplémentaires.

1 La gamme indiquée est une gamme optionnelle d'azote.

2 % F.S.Se réfère à l'erreur en pourcentage de la pleine échelle.

3 % de P.S.Se réfère à l'erreur en pourcentage de la valeur de consigne.

4 Temps de réponse signifie atteindre la valeur de consigne ±2%Le temps nécessaire à l'intérieur.

5 Pression de fonctionnement se réfère à l'entrée et la sortie d'air(1 bar)Pression absolue) etPression différentielle entre, contactez - nous pour plus de détails.

Dimensions et communication