Machine de polissage mécanique chimique entièrement automatique qui est bon

NégociableMise à jour sur04/22

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Vue d'ensemble

D'un point de vue économique de laboratoire à petite échelle, la machine de polissage mécano - chimique de type rpo - 6 est utilisée pour développer le processus de processus CMP, le choix de remplacement de la plaque de polissage, sa grande flexibilité peut polir n'importe quel matériau. Mesure de l'usure des patins de friction et de polissage in situ peut remplacer la sonde pour atteindre la norme de plaquette de 6 pouces Process Process & transport de consommables

Détails du produit

Modèle rpo - 6Polisseuse mécano - chimiqueCaractéristiques principales

technologie

Le polissage mécano - chimique (CMP) est un processus utilisé pour le traitement de Planarisation d'une plaquette ou d'un autre matériau en cours de traitement, tandis que la technologie de polissage est un polissage d'une plaquette utilisant une synergie de la physique et de la chimie, effectué en donnant une force de charge à la base de L'échantillon stocké dans la plaquette de polissage, le tampon de polissage et l'échantillon commencent à compter en rotation lorsque le liquide de polissage contenant les deux Constituents de l'agent abrasif et de l'agent chimique actif passe à travers le fond.

Friction in situ

L'instrument étudie les techniques de polissage de base en mesurant le frottement in situ et le degré d'usure, tandis que la variation du frottement peut être utilisée pour décrire une approximation du taux de retrait.

Usure des joints in situ

Le taux d'usure in situ peut alors être utilisé pour réagir à l'état du joint dans des situations telles que le polissage, le réglage, etc.

État

Régulation in situ et ex situ

Taille de la plaquette

Les fixations de plaquettes faciles à remplacer peuvent être effectuées sur le même testeur pour des échantillons polis de 1 pouce à 6 pouces.

pompe

Une pompe Programmable indépendante peut fournir de la boue, de l'eau et d'autres produits chimiques.

Consommables et conseils connexes

Les matériaux de polissage standard que nous proposons contiennent plus que des instruments, mais aussi une gamme de consommables (fluides de polissage, tampons de polissage, etc.), tandis que notre équipe scientifique vous conseille sur le développement et l'optimisation des processus.

Modèle rpo - 6Polisseuse mécano - chimiquespécification

Chargement artificiel de plaquettes

Système de R & D CMP de bureau

Régulation in situ et ex situ

Boue et conduites d'eau utilisant des pompes programmables

Dureté élevée et bon contrôle de la force

Diamètre du tambour de 340 mm

Un échantillon de 6 pouces

Sélection de frottement in situ et d'usure des joints

Taille d'impression w870x, d800x, h870mm

Applications - CMP, MEMS, tests de consommables

Application

Polissage

Développement de processus

Développement environnemental

Développement de liquide de polissage

Caractérisation du tapis de polissage

Développement de particules

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