Le profilomètre de surface est capable d'exécuter plusieurs tests sur la même plate - forme de test et la combinaison de produits peut être modifiée en fonction des différentes exigences techniques de l'application. Différents modes de détection expérimentale sont disponibles pour la même zone de l'échantillon et la commutation de mode permet une automatisation complète. L'intégration de plusieurs technologies permet aux différentes technologies de tirer pleinement parti de leurs avantages respectifs sur le même détecteur. Cette technologie de consolidation permet non seulement une analyse intégrée des données, mais aussi une réduction des coûts de maintenance et donc une efficacité accrue.
Profileur de surfacecaractéristique
Le topographe de surface 3D confocal a une résolution latérale ultra - élevée sur la topographie optique, est livré avec une caméra CCD de résolution automatique de 5 millions, l'échantillon sous l'espace peut être réglé à 0,05 µm, ce qui en fait une configuration idéale pour la mesure des caractéristiques de surface et de la topographie.
| Résumé du projet |
Description des paramètres |
| Topographie de surface 3D confocale |
Technologie confocale à disque rotatif pour un balayage vertical rapide.
Une ouverture numérique élevée (0,95) et un multiple élevé (150x) d'un objectif 3D plein champ 3D ont été utilisés pour caractériser l'analyse de pente (pente extra - large < interférométrie >: 72o vs 44o).
Avec une résolution latérale ultra - élevée sur la topographie optique et une caméra CCD de 5 millions de résolution automatique, l'échantillon sous l'espace peut être réglé à 0,05 µm, ce qui en fait une configuration idéale pour la mesure des caractéristiques de surface et de la topographie.
Aucune restriction sur la mesure de la rugosité de surface / réflectivité de surface.
Application sur couche / film transparent.
Compatible avec la vision claire et sombre; DIC optique.
Les téléobjectifs longue distance sont idéaux pour mesurer des rapports d'aspect élevés ainsi que des caractéristiques de pente.
Haute stabilité.
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