Entièrement automatique chimique polissage mécanique qui est bon

Résumé:

La polisseuse mécano - chimique rtec CP - 6 utilise une méthode professionnelle pour étudier et caractériser le processus CMP. En plus de polir la plaquette et le substrat, le testeur est équipé d'un profileur de surface en ligne. Cette combinaison fournit des informations sur la cause et la manière dont les surfaces, le frottement, l'usure, etc. changent. Le testeur peut également mesurer plusieurs paramètres en ligne tels que la force de frottement, la rugosité de la surface, la quantité d'usure, etc. pour une compréhension détaillée du processus.

Caractéristiques:

1. Microscope 3D confocal intégré qui peut caractériser la surface du tampon poli avec une résolution nm;

2. Frottement en ligne, processus de polissage d'étude d'émission acoustique;

3. Capteur de température en ligne;

4. Plusieurs tailles de plaquette peuvent être installées;

5. Basse pression et vitesse contrôlables.

De série, il y a une plate - forme x, y qui déplace la platine entre les positions de polissage et d'imagerie. De plus, la plate - forme XY aide à osciller la plaquette pendant le polissage. L'utilisation d'une platine avec des entraînements XY permet des combinaisons d'entraînement Multi - axes pour créer des mouvements personnalisés afin de simuler des conditions de test proches de l'environnement de production réel.

Capteurs en ligne:

1.torque - le capteur de couple en ligne haute résolution peut réaliser le positionnement du point d'extrémité et caractériser la surface en temps réel;

2. Acoustique - signal sonore qui permet un point final qualitatif ou aide à détecter les débris, les défauts dans le processus de polissage;

3. Température - la surveillance de la température en ligne des plages et des zones proches de la surface polie de la plaquette aide à étudier le mécanisme d'élimination.

Charge programmable, vitesse:

Pour optimiser le processus, le CP - 6 permet de contrôler et de modifier les forces, les vitesses et les débits à l'aide d'un logiciel basé sur la formulation.

Facile à utiliser:

L'appareil de mesure de frottement est équipé d'un support à changement rapide pour une installation facile des plaquettes et des plots. Le logiciel est livré avec des recettes standard prédéfinies pour les tests ou peut facilement créer de nouvelles recettes personnalisées.

Profileur 3D en ligne intégré:

Les polisseuses mécano - chimiques rtec sont équipées d'un profilomètre 3D intégré en ligne. Optimisé, il est possible de caractériser une surface de mat poli avec une résolution nm. Le détecteur est équipé d'un mode confocal + interféromètre + champ sombre et champ clair. Cela permet d'étudier les variations de surface en fonction du temps avec une résolution de nm. Ce testeur permet l'auto - couture sur de grandes surfaces pour l'usure volumique, le calcul de la rugosité.